氣態(tài)激光器升級固態(tài)激光器 解決方案 氣態(tài)雷射 (Gas lasers)   氣體雷射由于其物態(tài)固有的特性，所以有些因此而產(chǎn)生的特征； 優(yōu)點：氣體分子分布均勻、能階較單純，所以氣體雷射的光質(zhì)量在均勻性和同調(diào)性方面都較佳，早期精密量測通常采用之。缺點：因氣體密度最低，要得到瞬間的脈沖高峰值功率比較難。 固態(tài)雷射(Solid state lasers) 固體雷射是以固體當(dāng)活性介質(zhì)，大部分是將具有產(chǎn)生受激發(fā)射作用的離子摻入玻璃或晶體中，以人工方法制造而成。一般說來，固體雷射由于其物態(tài)固有的特性，所以有些因此而產(chǎn)生的特征： 1、優(yōu)點：固

超潔凈解決方案 隨著半導(dǎo)體芯片關(guān)鍵線寬尺寸縮減，從早期的微米（μm）級別發(fā)展至今的納米（nm）級別，芯片制造對潔凈度的要求越來越高，如果在生產(chǎn)過程中空氣潔凈程度達不到要求，產(chǎn)品的良品率會受到很大的影響。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有的主要環(huán)節(jié)，從單晶硅片制造、到IC制造及封裝，都需要在潔凈室中完成，對于潔凈度的要求高。 為維持潔凈室的潔凈度，半導(dǎo)體潔凈廠房通常采用垂直單向流的方式，通過推出作用，將室內(nèi)污染的空氣排至室外，從而達到凈化空氣的目的。 如：SP1/SP2等晶圓檢測設(shè)備環(huán)境需恒溫恒濕潔凈間凈化等級為ISO Class5（100）級，溫度精度為22±1℃，濕